此次推出的两🖌🐨款设备分别针对🏄♀️🈶晶锭和✔🥞衬底减薄🏟的不同工🇻🇮艺难点🛤,实现📭了关键🔞技术突破:晶🔍😒锭减薄机创新采♉用自动化🕵️♀️抓取与吸附双模🍓🍿式搬送系统,可⚱☺确保大🦢尺寸晶锭的👨❤️💋👨稳定高效传输,📏大幅缩短加工🔛💠周期,适🍼🇲🇵配规模化☀量产需🗑求;衬底减薄机则🥵🕟集成自主研发的超🏒精密空气💂🇫🇯主轴与气浮😇承片台等关键轴系😯,可将晶圆👨👨👧👧片内厚度偏😅👥差稳定😥👝控制在1微米☢〽以内,🇦🇿👨🔬哪里代孕最好攻克了均匀性🇨🇷控制难题,达🗳到国际先进水平👨👨👧⚛。
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